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喜訊!格林斯達環?!皻浠飶U氣凈化”技術喜獲國家發明專利

近日,格林斯達環保集團提交的《一種用于含氫化物廢氣高效凈化材料的制備方法、凈化材料和應用》發明專利喜獲國家知識產權局授權!

 

 

在泛半導體行業中,通常將特定量的雜質源摻入到硅晶體或其他半導體晶體表層,以改變半導體的電學特性,而雜質源主要是磷、硼、砷等特氣,因此在該摻雜工序中,會產生較多砷磷烷等廢氣。砷磷烷等廢氣均為劇毒、易燃氣體,無論是對環境還是人體健康都具有較大危害。

集團以科技為支撐,近年來,公司不斷加大科技研發投入,積極開展技術創新工作。這項專利的授權為含氫化物有毒有害氣體凈化提供了先 進、實用的工藝技術,助力格林斯達環保集團在有毒有害氣體高效處理技術創新研發方面取得突破性進展,為公司業務橫向和眾向延伸奠定了堅實的基礎。

格林斯達環保集團自2009年創立初期就在工業廢氣治理這個細分領域深耕和積累,致力于泛半導體領域(半導體、光伏和面板)以及新能源行業廢氣治理關鍵設備與核心材料的研發、加工制造、系統集成及智慧運營管理。

公司將會進一步加大研發投入,對現有廢氣處理技術和新型解決方案進行深度研發和升級,強化創新隊伍建設,建立一支本、碩、博不同專業背景成員組成的高水平研發團隊,加強研發成果輸出,以創新研發帶動同行業技術產業化的應用。目標是將公司創新研發中心建設成為國際一 流的泛半導體行業、光伏行業、面板行業多領域廢氣治理的產業化研發基地,助力世 界 級智能化全生命周期廢氣處理解決方案提供商,為引領世界環保新時代、締造百億市值新企業做出積極貢獻。

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