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半導體有機廢氣怎么處理?半導體廢氣治理有哪些好辦法?

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  • 格林斯達環保集團
  • 擅長:14年廢氣治理經驗,提供方案及設備,助力企業廢氣達標排放

半導體行業中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分,在工藝過程中,這些有機溶劑大部分通過揮發成為廢氣排放。其廢氣的主體是VOCs,同時廢氣中還混合了HCl、氨、HF等危險污染物。半導體有機廢氣怎么處理?半導體廢氣治理有哪些好辦法?下面為您做簡單介紹:

半導體有機廢氣處理辦法

采用RTO設備處理

RTO蓄熱式氧化爐是在高溫下將可燃廢氣氧化成氧化物和水,凈化廢氣,并回收廢氣分解時所釋放出來的熱量,廢氣分解效率達到99%以上,熱回收效率達到95%以上。

采用RTO設備處理

(格林斯達環保RTO設備)

直接燃燒法處理

有機廢氣風管廢氣收集→沸石轉輪吸附濃縮→直燃爐(TO)→煙囪排氣達標排放。

 

以上就是《半導體有機廢氣怎么處理?半導體廢氣治理有哪些好辦法?》的全部內容,格林斯達環保專注半導體廢氣處理13年,zhi今服務于中芯國際、中芯北方、中芯南方、中芯紹興、集電控股、積塔、有研、華虹、燕東微電子等半導體企業,中芯系覆蓋70%以上,擁有眾多半導體廢氣治理案例!如您有半導體廢氣處理需求,即刻聯系我們吧!


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