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半導體行業廢氣排放標準是什么?國家半導體廠環保廢氣處理排放執行標準要求

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半導體行業中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分,在工藝過程中,這些有機溶劑大部分通過揮發成為廢氣排放。其廢氣的主體是VOCs,同時廢氣中還混合了HCl、氨、HF等危險污染物,分離和處理難度比較大。

國家半導體行業大氣污染物排放標準

目前國家沒有專門關于半導體行業的國家標準,一切依據《中華人民共和國環境保護法》(2015-01-01)《環境空氣質量標準》(GB3095-2012)《大氣污染物綜合排放標準》(GB16297-1996)等相關文件。

地方半導體行業大氣污染物排放標準:

江蘇省:《半導體行業污染物排放標準》(DB32/3747-2020)

 

以上是《半導體行業廢氣排放標準》的全部內容。格林斯達環保專注半導體廢氣處理19年,zhi今服務于中芯國際、中芯北方、中芯南方、中芯紹興、集電控股、積塔、有研、華虹、燕東微電子等半導體企業,中芯系覆蓋70%以上,擁有眾多半導體廢氣治理案例。如您有半導體廢氣處理需求,即刻聯系我們吧!


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