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電子半導體行業廢氣成分及種類介紹

環保領域專家
  • 格林斯達環保集團
  • 擅長:14年廢氣治理經驗,提供方案及設備,助力企業廢氣達標排放

半導體行業隸屬電子信息產業,屬于硬件產業,是以半導體為基礎而發展起來的一個產業。上游為半導體支撐業,包括半導體材料和半導體設備。中游按照制造技術分為分立器件和集成電路。在半導體行業當中,半導體材料是此行業的支撐業。半導體材料是指導電率介于金屬和絕緣體之間的材料。半導體材料是制作晶體管、集成電路、光電子器件的重要材料。下面為您介紹電子半導體行業廢氣成分含量及種類:

做半導體產生的廢氣成分

半導體制程工藝中產生的廢氣類別大概有:一般氣體廢氣、含毒性物質的廢氣、有機廢氣和含有酸性/堿性物質的廢氣。

對于含有酸性/堿性物質的廢氣,半導體廠大多采用大型洗滌式中央廢氣處理系統進行處理。但由于半導體制造工作區域離中央廢氣處理系統距離較遠,因此部分酸性/堿性廢氣在輸送z中央廢氣處理系統前,常因氣體特性導致在管道中結晶或粉塵堆積,造成管道堵塞后導致氣體外泄,嚴重者甚z引發爆炸,危害現場工作人員的工作安全。

半導體廠廢氣種類

在半導體工藝制程中,需要使用多種特殊氣體、大量的酸、堿等化學品以及有機溶劑和揮發性液體,這些氣體和化學品在半導體制造的不同工藝中使用會產生廢氣,這些廢氣如果沒有經過廢氣處理設備很好的處理便進行排放,將造成嚴重的問題,不僅影響人們的身體健康,惡化大氣環境,造成環境污染的公害事件等,也會成為半導體制造中AMC污染的重要來源。

半導體企業廢氣一般分為酸性排氣、堿性排氣、有機廢氣、砷排和一般排氣等。

半導體廠廢氣處理

(格林斯達環保處理半導體廠廢氣案例)

隨“芯”而生,同“芯”發展。格林斯達環保專注半導體廢氣處理19年,zhi今服務于中芯國際、中芯北方、中芯南方、中芯紹興、集電控股、積塔、有研、華虹、燕東微電子等半導體企業,中芯系覆蓋70%以上,擁有眾多半導體廢氣治理案例。如您有半導體廢氣處理需求,即刻聯系我們吧!


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