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硅烷氣體怎么處理?半導體硅烷廢氣處理方式及工藝流程

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硅烷即硅與氫的化合物,是一系列化合物的總稱,包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更g級的硅氫化合物,通式為SinH2n+2。其中,甲硅烷z為常見,有時也將甲硅烷簡稱為硅烷。那么你知道硅烷氣體怎么處理嗎?硅烷廢氣處理方式方法有哪些嗎?工藝流程。下面格林斯達環保為您做簡單介紹:

硅烷廢氣處理方法

硅烷作為一種提供硅組分的氣體源,反應性和自燃性強烈,有非常寬的自發著火范圍和極強的燃燒能量,毒性很大,如果人體吸入硅烷就會強烈刺激呼吸器官,是一種高危險性的氣體。

在半導體工廠中,因工作區域一般離中心廢氣處理系統遠,為了避免在冗長的排氣過程中引發非預期的氣體泄漏,局部聚積等問題,硅烷(SiH4)廢氣從無塵室機臺端(POU)反應被排放出后,即先由真空Pump抽z廢氣處理設備Local Scrubber做處理,待處理過后的氣體再接續到廠務端做第二道處置。

Local Scrubber

(格林斯達環保Local Scrubber設備)

通過直流電源,使工作氣體(氮氣)進入等離子體反應器,在正負極強電流的作用下,被電離成等離子體,瞬間產生巨大的火焰,產生的高溫火焰將廢氣分解。優勢在于去除效率高,不需要燃料和熱源,耗能低; 處理高沸點廢氣,應用范圍廣; 高溫、反應速度快, 設備占地面積小、便于安裝;

 

以上就是《硅烷氣體怎么處理?半導體硅烷廢氣處理方式及工藝流程》的全部內容。格林斯達環保專注半導體廢氣處理19年,zhi今服務于中芯國際、中芯北方、中芯南方、中芯紹興、集電控股、積塔、有研、華虹、燕東微電子等半導體企業,中芯系覆蓋70%以上,擁有眾多半導體廢氣治理案例。如您有半導體廢氣處理需求,即刻聯系我們吧!


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