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氟化物廢氣怎么處理?半導體產業氟化物廢氣處理方法介紹

環保領域專家
  • 格林斯達環保集團
  • 擅長:14年廢氣治理經驗,提供方案及設備,助力企業廢氣達標排放

半導體行業在器件生產環節即硅片清洗、刻蝕、去膠等工藝節點,因為使用氟氫酸來清除硅片表面的氧化物,其過程會排放氟化物廢氣。該廢氣是一種具有腐蝕性的酸性廢氣,必須經廢氣處理設備凈化后才能排放。那么,氟化物廢氣怎么處理?格林斯達環保公司為您提供氟化物廢氣處理方法介紹:

氟化物廢氣處理

集成電路制造行業的氟化物廢氣處理,格林斯達環保公司設計的廢氣處理方案,氟化物廢氣治理濕法凈化技術工藝,通常采用水、堿性溶液來吸收氟化物,即廢氣堿洗。

半導體行業氟化物廢氣處理方法

對于半導體密閉車間機臺的氟化物廢氣通過吸氣罩進行收集,由耐腐蝕風機的負壓動力吸入排氣風管,再送進連接一體的洗滌塔 對廢氣進行噴淋堿洗,直zhi氣體達標后從煙囪高空排出。

 

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