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半導體行業產生的六氟乙烷有機廢氣該如何處理(六氟乙烷廢氣處理方法)

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六氟乙烷,也稱為全氟乙烷,化學式為C2F6,是一種有機化合物,常溫常壓下外觀為無色氣體狀,無臭無味,無毒性。六氟乙烷微溶于水,可溶于乙醇,不ke燃,但與可燃氣體一同燃燒時,會分解排放出有毒氣體氟化氫,在密閉容器中遇高熱,有開裂與爆炸危險。半導體是六氟乙烷的重要下游市場,電子級六氟乙烷是重要的等離子蝕刻氣體,可應用在硅、氮化硅、磷硅等材料蝕刻方面,并可對電子器件表面進行清洗,可以廣泛應用在集成電路、微電子器件、光纖光纜、太陽能電池等領域。本文將介紹半導體行業產生的六氟乙烷有機廢氣該如何處理?

六氟乙烷廢氣處理方法/工藝

六氟乙烷制備工藝較多,主要有熱分解法、電化學氟化法、直接氟化法、金屬氟化物氟化法、氟化氫催化氟化法等。因廢氣風量、種類、成分、濃度及溫度不同,所選用的廢氣處理設備及工藝也有所不同。

以上就是《六氟乙烷廢氣處理方法》的全部內容,希望對您有所幫助。格林斯達環保集團,泛半導體產業工藝廢氣治理系統解決方案提供商。如您有半導體產業廢氣治理(定制方案/采購系統設備)需求,即刻聯系我們吧!


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