Local Scrubber半導體尾氣處理設備

等離子水洗Local Scrubber設備,用于去除半導體Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圓工藝制程中使用或產生的PFC溫室氣體和有毒有害氣…【查看應用案例

產品價格:非標品

產品品牌:GREENSTAR

生產廠家:安徽格林斯達環保設備有限公司

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等離子水洗Local Scrubber設備,用于去除半導體Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圓工藝制程中使用或產生的PFC溫室氣體和有毒有害氣體,如:CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。

Local Scrubber工作原理

通過直流電源,使工作氣體(氮氣)進入等離子體反應器,在正負極強電流的作用下,被電離成等離子體,瞬間產生巨大的火焰,產生的高溫火焰將廢氣分解。

Local Scrubber設備優勢

  1. 去除效率高,不需要燃料和熱源,耗能低;
  2. 處理高沸點廢氣,應用范圍廣;
  3. 高溫、反應速度快,
  4. 設備占地面積小、便于安裝;

本裝置的直流電弧等離子體為非轉移型,兩電極區域不參與反應,只產生等離子體,產生的火焰溫度可達3000度以上。

等離子反應器的MTBF大于1年,反應室內腔的材質耐熱和耐腐,具有四個進氣口,裝置具備冷卻區、噴淋區及兩級填料除霧區,對PFC溫室氣體的去除效率>90%。

尾氣處理設備尾氣處理設備

Local Scrubber性能參數

去除效率 CF4>90%@150slm、NF3>95%@300slm
MTBF >6months;
MTTR <1.5hr
材質 內腔PTEE、水箱CPVC
等離子弧使用壽命 >1year
尺寸(mm) 800*800*1850
進氣口 NW50*4
耗能 12kw for CF4>90%;9kw for NF3>95%
水量 <4slm

Local Scrubber生產廠家

格林斯達環保集團,工藝廢氣治理系統解決方案提供商,提供廢氣治理一站式服務(方案規劃設計、設備生產及安裝、系統運行調試、智慧運維)。如您有Local Scrubber采購需求,即刻聯系我們吧!服務熱線:138-1114-8535(同微信)/ 400-9655-098。

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